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靶材 2 英寸 - 6 英寸的标准磁控溅射阴极，超高真空、可调节的磁场平衡和强度，DC/RF 兼容，可用于溅射和共溅射系统。
适用于实验室与中试平台的金属、氧化物、透明导电氧化物（TCO）等薄膜沉积。
磁控溅射阴极
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