钙钛矿背电极 TCO 低损伤实验室解决方案
钙钛矿与叠层电池研究中的 TCO / 金属氧化物工艺:现行路线的文献代价与低损伤替代方案
技术方案介绍PDF从实验室验证到量产落地,提供薄膜沉积工艺装备的完整技术方案
捷造面向光伏和真空技术领域,提供薄膜沉积工艺装备的技术开发、方案设计与工程服务。我们为大学实验室、科研机构、企业材料实验室提供标准 6-12 英寸 PECVD、PVD 等实验装备方案;为生产企业提供量产 PECVD、PVD 以及核心部件的技术解决方案。
工艺覆盖 PVD(磁控溅射、有机及金属共蒸发、反应离子沉积等)与 CVD(PECVD、LPCVD 等),并配套等离子体发生、溅射阴极、蒸发源、压力控制阀、门阀、真空机械手、膜厚测量仪等核心部件。
钙钛矿与叠层电池研究中的 TCO / 金属氧化物工艺:现行路线的文献代价与低损伤替代方案
技术方案介绍PDF
提供 6-12 英寸 PECVD、450 标准平台 PVD 等实验装备,支撑材料研究与工艺验证。
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