JPE系列6"-12"PECVD
单室/多室全自动PECVD平台，工件6-12英寸标准硅片，集成气路柜、真空机械手传输、氮气封闭环境片盒。
Learn more北京捷造光电技术有限公司
研发设备
小型磁控溅射系统
JSP系列300mm PVD
小型 Inline PVD，单端/双端接口，兼容平面溅射阴极和空心阴极离子镀。
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SMSS450小型磁控溅射系统
小型磁控溅射系统，采用多个2~6英寸圆形磁控溅射阴极靶共溅射，兼容DC/RF电源，工件尺寸可大至250mm
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